红外成像技术最开始起源于军用,后来逐渐转飞入寻常百姓家,在机器视觉、安防和生物成像等新兴领域大有用途,目前电子消费品领域广泛使用了该技术,尤其是手机夜间拍摄。
传统红外成像仪由光电探测器+硅基读出集成电路组成,这两部分互联时需要复杂且苛刻的工艺,导致成本大、大规模生产困难,要想在智能手机等消费电子产品中使用,就得探索低成本的新材料、新方法、新工艺。
2022年6月16日,华中科技大学唐江教授团队在Nature Electronics 期刊上发表文章:A near-infrared colloidal quantum dot imager with monolithically integrated readout circuitry。
这个工作除了华科团队,还受到了海思(华为)公司的支持。如下图,他们制备出了国内首款硫化铅胶体量子点红外成像芯片。
这个工作采用了溶液可制备的PbS胶体量子点做为红外光的响应材料,这和商用的InGaAs、InSb、HgCdTe光电探测器相比制备更加简单、成本低、且带隙可调,下图中的PbS量子点光谱响应范围为400-1300 nm。
难题:传统的PbS量子点器件是从底部入射光,这种器件结构不适配硅基读出集成电路,因为其耗尽区远离入射光,导致器件外量子效率低。
解决:为了实现顶部入射光的有效吸收和信号采集,设计出了下图红外成像仪结构:将光敏量子点红外器件直接集成到读出集成电路上,顶部采用透明导电氧化物,这样还避免了繁琐的互联工艺。通过模拟和实验优化,使得耗尽区靠近入射光,提高载流子的分离与收集效率,从而提升器件性能。
问题:上述顶部入射的量子点光电二极管性能较差,这可能是由于在顶部沉积高质量的透明电极时,容易破坏底部脆弱的量子点层。
解决:由于在ZnO溅射过程中会破坏PbS活性层,作者引入 C60界面钝化层来降低界面缺陷,经过对C60层的精心优化,NiOx/PbS/C60/ZnO光电二极管显示出良好的光响应,缺陷浓度降低至2.3×1016 cm−3。该量子点光电探测器室温探测率为2.1×1012Jones,外量子效率为63%,-3dB带宽为140kHz,线性动态范围超过100dB。
基于上述最优器件,创建了大型近红外成像仪(640×512像素),其空间分辨率为40 lp/mm,调制传递函数为50%,具有可与商用 InGaAs 成像芯片媲美的效果。
如下图,拍摄苹果,发现PbS成像仪捕捉红外图像的能力弥补了硅成像仪难以识别的额外信息;与商用InGaAs相比,PbS红外成像仪在静脉边缘的灰度变化更明显、更清晰,在静脉成像方面显示出更大的应用潜力;PbS红外成像仪在水和乙醇的鉴别方面优于InGaAs成像仪。
这个工作开创了国内量子点红外成像芯片的先河,量子点波长可调,可以做出波长可调的红外探测芯片,未来大有可为!
唐江,华中科技大学武汉光电国家研究中心教授,博士生导师,光学与电子信息学院院长,科睿唯安高被引作者。一直从事新型光电转换材料与器件研究,发表学术论文200余篇,其中以第一或者通讯作者身份发表Nature 1篇,Nature Photonics 3篇,Nature Materials 和Nature Energy 各1篇,被引用25000余次;授权中国发明专利30余项。目前的主要研究方向是量子点红外探测芯片、卤素钙钛矿X射线探测器、卤素钙钛矿发光材料与器件、硒化锑薄膜太阳能电池,每个方向都硕果累累!
1. https://doi.org/10.1038/s41928-022-00779-x
2. https://mp.weixin.qq.com/s/UMNyGUWC9sLma86QaRicjg
3. http://tfsc.wnlo.hust.edu.cn/info/1041/1063.htm
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