干货丨XPS数据处理神器CasaXPS，快速上手只需五步

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第1步：不同格式数据之间的转换

（1）将非filename.vms格式数据转换成filename.vms格式数据

Casaxps处理filename.vms格式的数据，仪器可以直接给filename.vms格式的数据，但一般情况下给出的是filename，不加任何后缀的文件，这种文件可以用记事本，excel，origin等打开，但是不能用Casaxps打开，但是可以转换成可以用casaxps打开的文件，转换方式如下：

将原始数据用Excel打开，将binding energy和intensity（CPS） 两列数据取出放在一个新建的txt文档下，删掉一些没用的东西，确保数据格 式符合X-Y两列。将修改好的txt文档改为dat文档（直接修改后缀），然后将 dat文件放在一个只有dat文件的专门文件夹里，这个很重要，如果这个文 件夹里有其它格式的文件，那么就无法完成数据的转换。

打开casaxps软件， 点convert按钮，在专门存放dat数据的文件夹下找到需要转换的文件，打开 就完成了转换。记住，一旦打开就会在该文件夹下生成一个filename.vms格式的文件，这样会导致其它文件无法转换，将这个新生成的文件转移到其它文件夹下就可以了，这样新生成的filename.vms文件就可以直接在 Casaxps里面打开了。

在Casaxps里面将filename.vms格式的文件打开， 点击 save Tab Ascll to clipbard 按钮 , 出现如下界面， 点击copy all to clipboard键， 将clipboard section 界面关闭后， 将复制的数据粘贴到txt文档即可。

第2步：Casaxps软件处理filename.vms格式的文件

1. 用casaxps处理宽谱 能够得到的信息

（1）定性分析

归属宽谱中各个峰。图1为经过峰归属后所得到得xps谱图。

峰归属步骤

打开vms格式文件，点击Options →Elements，出现Element library窗口，点击Periodic table，出现一张元素周期表，点击find peak，宽谱上各个峰就被归属了。但是，这时候归属的峰多，不容易分辨，可以做一些修饰。

点击 Options →Annotation，出现Annotation窗口，点击peak labels，会出现很多峰相对应的信息如O1s、C1s等等，点击其中一个，点Apply，峰就被标记出来，这样标记完所有重要而又明显的峰后，再次点击Options →Elements→Periodic table→Clear all elements， 峰归属与标记就完成了。

然后点击Options → Tile display，出现Tile display parameter窗口，点Display，该窗口的最下面有Title，在空白框里输入想命名的英文文件名，如GaN1 wide。

（2）元素含量分析

含量分析步骤

在峰归属基础上，点击 Options →Elements→Periodic table→Find peaks， 宽谱上可能有的元素在周期表上为红色，选择想要计算元素含量的元素，点 击Creat Region ,就计算出了各个元素的含量，然后点击Clear all elements。

另一种计算含量的方法： 正确识别各峰后，可以按照处理窄谱的方法处理宽普：点击工作区使其处于激活状态， 点击quantify 按钮，出现下面界面，点regions，再点creat，

点creat出现下面界面后，如图中红箭头所指位置处，左右移动边界，选定要计算含量的区域，得到如下图：按照此方法将其与需要计算含量的元素的区域画出来

在Annotation窗口下，点Quantification, 选上如图的选项，点Apply就会得到含量报告。

元素含量和峰重合，看不清，怎样将它们分开呢？

方法1：如下所示快捷键，任意点击一个按钮可以将谱图移动，按自己的需要来点击这两个按钮，直至达到要求为止。

方法2：如下图，在annotation窗口下，点击annotation history,将其激活，会出现左图，有红色方框的说明能够移动，点住name上的红色方框，向右移动即可。

这些快捷键相关的操作在option下均可以找到。

第3步：使用Casaxps处理精细谱

具体操作步骤：扣背底 –分峰、拟合–含量计算

打开vms格式的窄谱文件，点击工作区使其处于激活状态，点击quantify 按钮，出现下面界面，点regions，再点creat。

点creat出现下面界面后，如图中红箭头所指位置处，左右移动边界，选定要分峰的区域， 即扣背底。

扣背底后出现下面界面

点component，在component状态下点击creat，根据谱图特点点击creat分出一个峰后先 拟合一下，再点击creat分第二个峰，拟合

在component状态下点击creat，直至分出所有峰，点击 Fit component，出现以下界面。

点annotation 按钮，激活component，点apply，出现以下界面。完成分峰、拟合、 含量计算。

荷电校正

由于在测试过程中会发生结合能的偏移，完成分峰拟合含量计算之后就要进行荷电校正，我们的仪器一吸附碳的结合能284.6eV作为标准，进行校正，步骤如下：

点击processing按钮，出现 如下窗口， 点击calibration, 在measured后面的空格中 输入吸附碳测量值， 在true后面的空格中输入 标准值284.6， 将有图红色框中的两个 选项打钩， 点apply即可

下面的结果就是经过校正后的最终结果

第4步：将拟合好的数据保存为.txt格式

点击 save Tab Ascll to clipbard按钮 ,出现如下界面，点击copy all to clipboard键，将clipboard section 界面关闭后，将复制的数据粘贴到txt文档即可。

如果该步操作无法进行，可能是没有输入该软件的用户名和序列码，点击help下拉菜单about Casaxps,输入正确的用户名和序列号（用户名和序列号保存在SN.txt文本文档中），其它的操作如上。

第5步：将从Casaxps转换出的数据导入到origin

将从casaxps转换出的数据导入到origin后的谱图

导入到origin后可以像处理其它数据 一样，去掉第一列（动能列），修改 一下坐标，作图，标注峰名称，就得 到可以应用的最终结果。

导入到origin后可以像处理其它数据 一样，去掉第一列（动能列），修改 一下坐标，作图，标注峰名称，就得到可以应用的最终结果。