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本文通过对二维TMDs进行集成和优化,实现了从单一原理验证到可重复的集成设备的发展,标志着技术进步的重要里程碑。
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本文指出通过改进二维TMDs的材料质量以及金属接触、电介质和TMDs之间的界面,可以进一步提升器件性能。
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此外,本文指出优化后的材料和界面显著提高了器件的整体性能,尤其是在高质量材料的低缺陷浓度方面表现突出。缺陷密度的降低对提升二维TMDs的性能至关重要。
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掺杂问题:高密度的缺陷影响了掺杂效果,需要开发更有效的掺杂策略。
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p型接触:实现高性能p型接触仍然是一个挑战,需要进一步的研究和改进。
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高介电常数介质:必须找到与CMOS兼容的高介电常数介质,这些介质不会对二维TMD通道造成负面影响。
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