他，一年即清华硕毕、师从三院院士，港大/北大/南科大，重磅Nature！

金刚石是一种特殊的材料，由于其有趣的性质，在各个领域都具有巨大的潜力。然而，尽管在过去的几十年里付出了巨大的努力，但生产大量广泛使用的超薄金刚石膜，仍然具有挑战性。

2024年12月18日，香港大学的褚智勤教授和林原教授、北京大学东莞光电研究院的王琦教授、南方科技大学的李携曦在国际顶级期刊Nature发表题为《Scalable production of ultraflat and ultraflexible diamond membrane》的研究论文，景纪祥、博士生Fuqiang Sun、王忠强为论文共同第一作者，褚智勤教授、林原教授、王琦教授、李携曦为论文共同通讯作者。

褚智勤，香港大学工程学院教授。2008年本科毕业于中国西北大学；2012年博士毕业于香港中文大学，随后留校担任博士后一年；2014-2016年在德国斯图加特大学从事博士后研究，2018年加入香港大学。

褚智勤教授团队目前主要的研究方向包括量子传感与探测、生物物理、生物力学和生物光子学的相关研究，曾在物理学、生物医学、材料科学、光子学和生物学交叉研究领域发表多篇高影响力论文。

林原，香港大学机械工程系教授。2000年和2001年分别本科、硕士毕业于清华大学，2004年、2008年获布朗大学硕士和博士学位，博士期间师从三院院士L.B. Freund。2008年加入香港大学。

林原教授的主要研究方向为生物聚合物网络的力学、机械细胞可塑性、集体细胞迁移、生物医学应用的新型设备。

王琦，北京大学东莞光电研究所教授、副院长。博士毕业于英国谢菲尔德大学，并留校担任博士后；曾在加拿大McGill大学从事博士后研究，现任职于北京大学东莞光电研究所。

王琦教授主要研究半导体材料生长、器件制备与性能，发表论文100余篇，申请和授权国内外专利近90件。

李携曦，南方科技大学深港微电子学院助理教授。2009年、2013年在香港大学获得学士和博士学位，2013-2016年先后在麦吉尔大学和香港大学从事博士后研究，随后加入香港大学，2019年入职南方科技大学。

李携曦博士主要从事氮化镓器件的微纳制造、集成光电器件的设计、制造与应用等相关领域的研究，在国际学术期刊和国际会议论文集上累计发表学术论文120余篇，其中以第一作者或通讯作者发表SCI论文50余篇。申请及授权美国及中国发明专利10余项。

在这里，作者证明使用胶带进行边缘暴露剥离是一种简单、可扩展且可靠的方法，用于生产超薄且可转移的多晶金刚石膜。

该方法能够大规模生产大面积（2英寸晶圆）、超薄（亚微米厚度）、超平坦（亚纳米表面粗糙度）和超柔性（360°可弯曲）金刚石膜。这些高质量的膜具有平坦的工作表面，支持标准的微制造技术，其超柔性特性允许直接弹性应变工程和变形传感应用，这是其笨重的同类膜无法实现的。

系统的实验和理论研究表明，剥离膜的质量取决于剥离角度和膜厚度，因此可以在最佳操作窗口内稳健地生产基本完整的金刚石膜。

这种一步法，为高品质金刚石膜的大规模生产开辟了新途径，有望加速电子、光子学等相关领域的商业化和金刚石时代的到来。

图1：去角质晶圆级金刚石膜

图2：剥离金刚石膜的详细表征

图3：机械剥离金刚石膜的超光滑性

图4：可穿戴电子应用的柔性金刚石膜

图5：影响机械剥离金刚石膜质量的因素

综上，在这篇论文中，作者介绍了一种简单、可扩展的方法，使用粘性胶带进行边缘暴露剥离，以大规模生产超薄、超平坦、超柔性的多晶金刚石膜。该研究能够制造出大面积（2英寸晶圆）、超薄（亚微米厚度）、超平坦（亚纳米表面粗糙度）和超柔性（360°可弯曲）的金刚石膜，这对于电子学、光子学、力学、热学、声学、量子技术和其他相关领域具有重要的商业化和应用前景，特别是在高端材料和器件制造领域。

Jing, J., Sun, F., Wang, Z. et al. Scalable production of ultraflat and ultraflexible diamond membrane. Nature 636, 627–634 (2024).